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Effects of working pressure on structure and properties of Al-containing amorphous carbon films prepared by high-power impulse magnetron sputtering

来源: 华汇仪器作者: 管理员时间: 2021-09-20 点击: 1028 次

Effects of working pressure on structure and properties of Al-containing amorphous carbon films prepared by high-power impulse magnetron sputtering.pdf

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