（桌面式快速退火炉）

（自立式快速退火炉）

产品介绍

快速退火炉系列产品，采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理、快速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。广泛应用于高校、科研院所、第三方检测机构、半导体制造企业等。

应用功能

快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN) ……

基片类型

硅片、碳化硅基片、化合物半导体基片、用于LED的GaN/蓝宝石基片、用于太阳能电池的多晶硅基片、石墨和镀碳化硅的石墨基座、玻璃基片、金属、聚合物等。

器件类型

光电芯片、射频芯片、MEMS传感器芯片、功率器件、CMOS芯片、模拟芯片、分立器件、光伏器件、显示器件、存储器芯片、光电子芯片、MEMS芯片的制造等。

应用材料

电子材料、陶瓷与无机材料、金属材料、复合材料 、功能薄膜材料……

定制化应用(创新实验)

原位光学观察、相变测试、原位电学测试、测热膨胀系数……